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第2天一早，段云就来到了芯片厂。

两名荷兰专家在前天的时候，已经回到了深圳，并且住在了工厂旁边的招待所中。

这是荷兰专家带来了很多的工具和仪器，大部分段云都是从来没见过的，也不知道这些仪器的功能是什么。

虽然这两名荷兰工程师确实有些贪财，但是工作起来却非常的卖力，回到深圳的当天下午，他就已经通过段云挑选组织的一个安装团队，包括7名以前在日本培训过的技术员，另外还有二十几名搬运工，公司的专职翻译陈铁生和李芸担任中方联络人，负责协调工作。

这几台阿斯麦的光刻机非常精密，任何一个部件的磨损和擦伤，都可能导致整台机器精度的下降，不过值得庆幸的是，尽管横越了半个地球，然后又被装到铁甲大飞上逆风斩浪，但是包装厚实关键零部件并没有受到损伤，通过仪器的测试之后，也让两名荷兰工程师松了一口气。

然而把这些机器送入无尘车间并不是一件简单的事情，为了避免灰尘的带入，所有零部件在进入车间之前，还要经过一系列的除尘处理，这才能进入车间。

另外和普通机器不同的是，阿斯麦的光刻机他是有一个完备的安装手册的，手册多达上百页，大部分都是一些安装数据参数，所有零部件都是有编号的，必须要按次序安装，而且这其中一颗螺丝的安装需要多大的力度，每一块镜片的偏差度多少，都是有严格标注的，另外光是底座的找平，就花费了整整一个上午的时间。

其实这个年代的光刻机远不如后世的光刻机那么复杂，2000年之后的阿斯麦光刻机，至少都是在10万个零部件左右，而现如今只有不到1万多个零部件，和汽车差不多相仿，然而组装的难度却依旧不小。

一微米制程的阿斯麦光刻机，完全称得上是当今世界上最先进的光刻机，他们用的还是德国蔡司镜头，从参数上来看，分辨率可以达到065微米左右，这应该是世界上最强的光学镜头。